Combinatorial Preparation and Characterization Methods for High Through-put Study of Advanced Functional Materials  Page description

Help  Print 
Back »
 

Details of project

  
Identifier
129009
Type K
Principal investigator Fried, Miklós
Title in Hungarian Korszerű funkcionális anyagok kombinatorikus, hatékony előállitása és minősitése
Title in English Combinatorial Preparation and Characterization Methods for High Through-put Study of Advanced Functional Materials
Keywords in Hungarian kombinatorikus, vékonyréteg, funkcionális anyagtudomány
Keywords in English combinatorial, thin film, functional materials science
Discipline
Material Science and Technology (electronics) (Council of Physical Sciences)100 %
Panel Informatics and Electrical Engineering
Department or equivalent Institute of Technical Physics and Materials Science (Centre for Energy Research)
Participants Cora, Ildikó
Kovácsné Kis, Viktória
Lábadi, Zoltán
Lohner, Tivadar
Olasz, Dániel
Sáfrán, György
Serényi, Miklós
Zolnai, Zsolt
Starting date 2018-09-01
Closing date 2022-08-31
Funding (in million HUF) 37.065
FTE (full time equivalent) 10.57
state closed project
Summary in Hungarian
A kutatás összefoglalója, célkitűzései szakemberek számára
Itt írja le a kutatás fő célkitűzéseit a témában jártas szakember számára.
A legmodernebb anyagok fizikai, kémiai és szerkezeti tulajdonságai erősen függenek összetételüktől. A szokásos eljárás, hogy felderítsék a koncentráció függő fázis-tulajdonságokat az, hogy számos két (vagy több) összetevős mintát készítenek, egyet-egyet minden C(a)/C(b = 1-a) kompozícióra, és ezeket egyenként vizsgálják. Ez alacsony hatékonyságú eljárás, hatalmas idő, ember és műszer költségekkel. Ezzel szemben, kombinatorikus anyagszintézis-alapú megközelítés alkalmazásával, anyagok könyvtárai állíthatók elő egy kísérletben, akár több száz vagy több ezer mintát tartalmazó egyetlen minta formájában. Az optimalizált anyagi struktúrákat hatékony módon, megfelelő automatikus mikro-folton mérő karakterizáló eszközökkel lehet felderíteni. A minta-készítő eszközöket (DC magnetron, pulzáló módú reaktív DC magnetron és bias (előfeszített) RF porlasztó rendszereket, valamint lézeres ablációs leválasztású rendszert) és a karakterizáló eszközöket (SE-Spektroszkópiai Ellipszométer, RBS-Rutherford Ionvisszaszórásos Spektrometria, TEM-Transzmissziós Elektron Mikroszkóp, SEM-Pásztázó Elektron Mikroszkóp, AFM-Atomerő Mikroszkóp), amelyeket erre lehet használni, az MFA-ban lehet koncentráltan megtalálni. Ezek a berendezések hatékony eszközöket kínálnak a minta-gyártásra és adatfeldolgozásra. Optimalizált anyagok könyvtárait lehet gyorsan előállítani és a minták gyorsított jellemzését lehet végrehajtani olyan megfelelő hordozókon, mint a Si- vagy az oxidált Si-szelet. Ezek a módszerek segítenek bennünket abban, hogy hatékonyabban keressúnk speciális funkcionális anyagokat mikro-, nano- vagy opto-elektronika, energia-átalakítás (napelem) vagy (optikai vagy gáz) érzékelő rendszerek céljára.

Mi a kutatás alapkérdése?
Ebben a részben írja le röviden, hogy mi a kutatás segítségével megválaszolni kívánt probléma, mi a kutatás kiinduló hipotézise, milyen kérdéseket válaszolnak meg a kísérletek.
A legmodernebb anyagok fizikai, kémiai és szerkezeti tulajdonságai erősen függenek összetételüktől. A szokásos eljárás, hogy felderítsék a koncentráció függő fázis-tulajdonságokat az, hogy számos két (vagy több) összetevős mintát készítenek, egyet-egyet minden C(a)/C(b = 1-a) kompozícióra, és ezeket egyenként vizsgálják. Ez alacsony hatékonyságú eljárás, hatalmas idő, ember és műszer költségekkel. Ezzel szemben, kombinatorikus anyagszintézis-alapú megközelítés alkalmazásával, anyagok könyvtárai állíthatók elő egy kísérletben, akár több száz vagy több ezer mintát tartalmazó egyetlen minta formájában. Az optimalizált anyagi struktúrákat hatékony módon, megfelelő automatikus mikro-folton mérő karakterizáló eszközökkel lehet felderíteni. A minta-készítő eszközöket (DC magnetron, pulzáló módú reaktív DC magnetron és bias (előfeszített) RF porlasztó rendszereket, valamint lézeres ablációs leválasztású rendszert) és a karakterizáló eszközöket (SE, RBS, TEM, SEM, AFM, PL), amelyeket erre lehet használni, az MFA-ban lehet koncentráltan megtalálni. Ezek a berendezések hatékony eszközöket kínálnak a minta-gyártásra és adatfeldolgozásra. Optimalizált anyagok könyvtárait lehet gyorsan előállítani és a minták gyorsított jellemzését lehet végrehajtani olyan megfelelő hordozókon, mint a Si- vagy az oxidált Si-szelet. Ezek a módszerek segítenek bennünket abban, hogy hatékonyabban keressünk speciális funkcionális anyagokat mikro-, nano- vagy opto-elektronika, energia-átalakítás (napelem) vagy (optikai vagy gáz) érzékelő rendszerek céljára. Intézetünkben egyedülálló módon van meg koncentráltan az ehhez szükséges berendezéspark és magas színvonalú szakértelem.

Mi a kutatás jelentősége?
Röviden írja le, milyen új perspektívát nyitnak az alapkutatásban az elért eredmények, milyen társadalmi hasznosíthatóságnak teremtik meg a tudományos alapját. Mutassa be, hogy a megpályázott kutatási területen lévő hazai és a nemzetközi versenytársaihoz képest melyek az egyediségei és erősségei a pályázatának!
A legmodernebb anyagok fizikai, kémiai és szerkezeti tulajdonságai erősen függenek összetételüktől. A szokásos eljárás, hogy felderítsék a koncentráció függő fázis-tulajdonságokat az, hogy számos két (vagy több) összetevős mintát készítenek, egyet-egyet minden C(a)/C(b = 1-a) kompozícióra, és ezeket egyenként vizsgálják. Ez alacsony hatékonyságú eljárás, hatalmas idő, ember és műszer költségekkel. Ezzel szemben, kombinatorikus anyagszintézis-alapú megközelítés alkalmazásával, anyagok könyvtárai állíthatók elő egy kísérletben, akár több száz vagy több ezer mintát tartalmazó egyetlen minta formájában. Az optimalizált anyagi struktúrákat hatékony módon, megfelelő automatikus mikro-folton mérő karakterizáló eszközökkel lehet felderíteni. A minta-készítő eszközöket (DC magnetron, pulzáló módú reaktív DC magnetron és bias (előfeszített) RF porlasztó rendszereket, valamint lézeres ablációs leválasztású rendszert) és a karakterizáló eszközöket (SE, RBS, TEM, SEM, AFM, PL), amelyeket erre lehet használni, az MFA-ban lehet koncentráltan megtalálni. Ezek a berendezések hatékony eszközöket kínálnak a minta-gyártásra és adatfeldolgozásra. Optimalizált anyagok könyvtárait lehet gyorsan előállítani és a minták gyorsított jellemzését lehet végrehajtani olyan megfelelő hordozókon, mint a Si- vagy az oxidált Si-szelet. Ezek a módszerek segítenek bennünket abban, hogy hatékonyabban keressünk speciális funkcionális anyagokat mikro-, nano- vagy opto-elektronika, energia-átalakítás (napelem) vagy (optikai vagy gáz) érzékelő rendszerek céljára. Intézetünkben egyedülálló módon van meg koncentráltan az ehhez szükséges berendezéspark és magas színvonalú szakértelem. Fontos, hogy BSc, MSc, és PhD hallgatók számára tudjunk jó témákat biztositani, a felhalmozott tudással kiváló szakértőket kinevelve a hazai műszaki tudomány és ipar számára.

A kutatás összefoglalója, célkitűzései laikusok számára
Ebben a fejezetben írja le a kutatás fő célkitűzéseit alapműveltséggel rendelkező laikusok számára. Ez az összefoglaló a döntéshozók, a média, illetve az érdeklődők tájékoztatása szempontjából különösen fontos az NKFI Hivatal számára.
A legmodernebb anyagok fizikai, kémiai és szerkezeti tulajdonságai erősen függenek összetételüktől. A szokásos eljárás, hogy felderítsék a koncentráció függő fázis-tulajdonságokat az, hogy számos két (vagy több) összetevős mintát készítenek, egyet-egyet minden összetételhez, és ezeket egyenként vizsgálják. Ez alacsony hatékonyságú eljárás, hatalmas idő, ember és műszer költségekkel. Ezzel szemben, kombinatorikus anyagszintézis-alapú megközelítés alkalmazásával, anyagok könyvtárai állíthatók elő egy kísérletben, akár több száz vagy több ezer mintát tartalmazó egyetlen minta formájában. Az optimalizált anyagi struktúrákat hatékony módon, megfelelő automatikus mikro-folton mérő karakterizáló eszközökkel lehet felderíteni. A minta-készítő eszközöket és a karakterizáló eszközöket, amelyeket erre lehet használni, az MFA-ban lehet koncentráltan megtalálni. Ezek a berendezések hatékony eszközöket kínálnak a minta-gyártásra és adatfeldolgozásra. Optimalizált anyagok könyvtárait lehet gyorsan előállítani és a minták gyorsított jellemzését lehet végrehajtani olyan megfelelő hordozókon, mint a Si- vagy az oxidált Si-szelet. Ezek a módszerek segítenek bennünket abban, hogy hatékonyabban keressünk speciális funkcionális anyagokat mikro-, nano- vagy opto-elektronika, energia-átalakítás (napelem) vagy (optikai vagy gáz) érzékelő rendszerek céljára. Intézetünkben egyedülálló módon van meg koncentráltan az ehhez szükséges berendezéspark és magas színvonalú szakértelem. Fontos, hogy BSc, MSc, és PhD hallgatók számára tudjunk jó témákat biztositani, a felhalmozott tudással kiváló szakértőket kinevelve a hazai műszaki tudomány és ipar számára.
Summary
Summary of the research and its aims for experts
Describe the major aims of the research for experts.
The physical, chemical and structural properties of the cutting-edge materials are strongly dependent on their composition. The common procedure to reveal the properties of concentration dependent phases is the preparation of numerous two (or more)-component samples, one for each C(a)/C(b=1-a) composition, and the investigation of these individuals. This is a low efficiency procedure that costs enormous time of man and machine. Contrarily, using the combinatorial material synthesis approach, materials libraries can be produced in one experiment that contain up to several hundreds or thousands of samples on a single substrate. In order to identify optimized material structures in an efficient way, adequate automated micro-spot material characterization tools have to be applied. The preparation devices (DC magnetron, pulsed mode reactive DC magnetron and biased RF sputtering systems as well as laser ablation deposition system) and characterization instruments (SE-Spectroscopic Ellipsometry, RBS-Rutherford Backscattering Spectrometry, TEM-Transmission Electron Microscopy, SEM-Scanning Electron Microscopy, AFM-Atomic Force Microscopy) which can be used in MFA offer powerful tools for the fabrication and processing of materials libraries as well as for accelerated material characterization on appropriate planar substrates such as Si or oxidized Si wafers. These methods can help us to search more efficient advanced functional materials for micro-, nano- and optoelectronics, energy converters (solar cells) or different (optical or gas) sensor systems.

What is the major research question?
Describe here briefly the problem to be solved by the research, the starting hypothesis, and the questions addressed by the experiments.
The physical, chemical and structural properties of the cutting-edge materials are strongly dependent on their composition. The common procedure to reveal the properties of concentration dependent phases is the preparation of numerous two (or more)-component samples, one for each C(a)/C(b=1-a) composition, and the investigation of these individuals. This is a low efficiency procedure that costs enormous time of man and machine. Contrarily, using the combinatorial material synthesis approach, materials libraries can be produced in one experiment that contain up to several hundreds or thousands of samples on a single substrate. In order to identify optimized material structures in an efficient way, adequate automated micro-spot material characterization tools have to be applied. The preparation devices (DC magnetron, pulsed mode reactive DC magnetron and biased RF sputtering systems as well as laser ablation deposition system) and characterization instruments (SE-Spectroscopic Ellipsometry, RBS-Rutherford Backscattering Spectrometry, TEM-Transmission Electron Microscopy, SEM-Scanning Electron Microscopy, AFM) which can be used in MFA offer powerful tools for the fabrication and processing of materials libraries as well as for accelerated material characterization on appropriate planar substrates such as Si or oxidized Si wafers. These methods can help us to search more efficient advanced functional materials for micro- and optoelectronics, energy converters or different sensor systems. In our Institute we have unique concentration of different sample preparation methods, a unique complexity of different characterization methods and a critical mass of high-level experts.

What is the significance of the research?
Describe the new perspectives opened by the results achieved, including the scientific basics of potential societal applications. Please describe the unique strengths of your proposal in comparison to your domestic and international competitors in the given field.
The physical, chemical and structural properties of the cutting-edge materials are strongly dependent on their composition. The common procedure to reveal the properties of concentration dependent phases is the preparation of numerous two (or more)-component samples, one for each C(a)/C(b=1-a) composition, and the investigation of these individuals. This is a low efficiency procedure that costs enormous time of man and machine. Contrarily, using the combinatorial material synthesis approach, materials libraries can be produced in one experiment that contain up to several hundreds or thousands of samples on a single substrate. In order to identify optimized material structures in an efficient way, adequate automated micro-spot material characterization tools have to be applied. The preparation devices (DC magnetron, pulsed mode reactive DC magnetron and biased RF sputtering systems as well as laser ablation deposition system) and characterization instruments (SE-Spectroscopic Ellipsometry, RBS-Rutherford Backscattering Spectrometry, TEM-Transmission Electron Microscopy, SEM-Scanning Electron Microscopy, AFM-Atomic Force Microscopy) which can be used in MFA offer powerful tools for the fabrication and processing of materials libraries as well as for accelerated material characterization on appropriate planar substrates such as Si or oxidized Si wafers. These methods can help us to search more efficient advanced functional materials for micro- and optoelectronics, energy converters (solar cells) or different (optical or gas) sensor systems. In our Institute we have unique concentration of different sample preparation methods, a unique complexity of different characterization methods and a critical mass of high-level experts. It is of great importance for the applicants that the proposed research provides opportunity for young people (BSc, MSc, and PhD students) to join and to provide assistance in thinking and knowledge in Hungary. Furthermore, through the participation of graduate and undergraduate students, the proposed research program will produce highly qualified personnel in specialized and emerging fields.

Summary and aims of the research for the public
Describe here the major aims of the research for an audience with average background information. This summary is especially important for NRDI Office in order to inform decision-makers, media, and others.
The physical, chemical and structural properties of the cutting-edge materials are strongly dependent on their composition. The common procedure to reveal the properties of concentration dependent phases is the preparation of numerous two (or more)-component samples, one for each composition, and the investigation of these individuals. This is a low efficiency procedure that costs enormous time of man and machine. Using the combinatorial material synthesis approach, materials libraries can be produced in one experiment that contain up to several hundreds or thousands of samples on a single substrate. In order to identify optimized material structures in an efficient way, adequate automated material characterization tools have to be applied. The many preparation devices and characterization instruments (optical, electrical, ion-beam) which can be used in MFA offer powerful tools for the fabrication and processing of materials libraries as well as for accelerated material characterization. These methods can help us to search more efficient advanced functional materials for micro- and optoelectronics, energy converters (solar cells) or different (optical or gas) sensor systems.




 

Final report

  
Results in Hungarian
Kombinatorikus anyagszintézis megközelítést alkalmaztunk optimalizált anyagok azonosítására, mikrofolt anyag vizsgáló eszközök alkalmazásával. Számos mintakészitési eszközt (különböző porlasztó rendszereket) és vizsgáló műszereket (SE, RBS, TEM, SEM, AFM) használtunk. Fejlett funkcionális anyagokat kerestünk mikro-, nano- és optoelektronikához, energiaátalakítókhoz (napelemek) vagy különböző (optikai vagy gáz)érzékelő rendszerekhez. A vizsgált anyagok a következők voltak: a-Si1−xGex:H, Si1−xGex, a-Si:H, WO3-MoO3, WoO3-x/MoO3-x, Ni-szilicid, Y-Ti-O, Al/Ag, Mn/Ag, HfON, SiON, a-SiNx:H, CrxAl1−xN, Al–Mg. A főbb eredmények: 1. Az ellipometriai térképezéssel kiegészitett mikrokombinatorikus mintaelőkészítés nemcsak a koncentrációk szabályozott laterális eloszlásával rendelkező minták gyártására alkalmas, hanem új távlatokat nyit meg az optikai és optoelektonikus alkalmazásokhoz használt vegyületek adatbázisainak létrehozásában is. 2. Összehasonlítottuk a különböző optikai modellek "jóságát" a mintaelőkészítés körülményeitől függően, és választani tudunk a megfelelő optikai modellek közül 3. A változó összetételű plazmonikus Mn/Ag/SiO2 és AgAl/Si3N4 szenzorréteg-szerkezeteink "pásztázó rezonáns hullámhossz" képességet valósítanak meg, amelyben a legnagyobb érzékenységű spektrális helyzet állítható be az in-situ mérés során.
Results in English
We used the combinatorial material synthesis approach to identify optimized materials, applying micro-spot material characterization tools. We used several preparation devices (different sputtering systems) and characterization instruments (SE, RBS, TEM, SEM, AFM). We searched advanced functional materials for micro-, nano- and optoelectronics, energy converters (solar cells) or different (optical or gas) sensor systems. The investigated materials were: a-Si1−xGex:H, Si1−xGex, a-Si:H, WO3-MoO3, WoO3-x/MoO3-x, Ni-silicide, Y-Ti-O, Al/Ag, Mn/Ag, HfON, SiON, a-SiNx:H, CrxAl1−xN, Al–Mg. The main results: 1. The micro-combinatorial sample preparation with mapping ellipsometry is not only suitable for the fabrication of samples with controlled lateral distribution of the concentrations, but also opens new prospects in creating databases of compounds for optical and optoelectonic applications 2. We compared the “goodness” of different optical models depending upon the sample preparation conditions, and we can choose between appropriate optical models 3. Our plasmonic Mn/Ag/SiO2 and AgAl/Si3N4 sensor layer structures with the compositionally graded surface realizes a ”scanning resonant wavelength” capability, in which the spectral position of the highest sensitivity can be adjusted during the in-situ measurement.
Full text https://www.otka-palyazat.hu/download.php?type=zarobeszamolo&projektid=129009
Decision
Yes





 

List of publications

  
Kalas B, Ferencz K, Saftics A, Czigany Z, Fried M, Petrik P: Bloch surface waves biosensing in the ultraviolet wavelength range - Bragg structure design for investigating protein adsorption by in situ Kretschmann-Raether ellipsometry, APPLIED SURFACE SCIENCE 536: 147869, 2021
György Sáfrán, Noémi Szász, Gergely Dobrik, Benjámin Kalas, Miklós Serényi: Smart gas dosage by a peristaltic pump for reactive RF sputtering of composition spread combinatorial hafnium-oxy-nitride layers, Vacuum 182 (2020) 109675, DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109675, 2020
M. Fried, R., Bogar, Z. Lábadi, Z. E. Horvath, Z. Zolnai: Combinatorial Investigation of WO3-MoO3 Mixed Layers by Spectroscopic Ellipsometry to assess Effective Medium Approximation, In: Miklós Fried (szerk.) Proceedings of Anyagtudományi Szimpózium, Budapest, Magyarország : Óbudai Egyetem (2020) 44 p. pp. 3-10., 2020
Z. Labadi, P. Petrik M. George, C. Moldovan, M. Fried: Preparation and Characterization of Mixed Metal Oxide Layers using Reactive Combinatorial Sputtering, In: Miklós Fried (szerk.) Proceedings of Anyagtudományi Szimpózium, Budapest, Magyarország : Óbudai Egyetem (2020) 44 p. pp. 31-33., 2020, 2020
György Sáfrán, Noémi Szász, Gergely Dobrik, Benjámin Kalas, Miklós Serényi: Self-regulating gas dosage for reactive RF sputtering of composition spread Hf oxy-nitride combinatorial layers, In: Miklós Fried (szerk.) Proceedings of Anyagtudományi Szimpózium, Budapest, Magyarország: Óbudai Egyetem (2020) 44 p. pp. 41-44., 2020
Ildikó Cora, János L. Lábár, György Sáfrán: Concentration dependent pair-correlation in amorphous Si1−xGex layers revealed by micro-combinatorial TEM, In: Miklós Fried (szerk.) Proceedings of Anyagtudományi Szimpózium, Budapest, Magyarország, Óbudai Egyetem (2020) 44 p. pp. 26-30., 2020
Benjamin Kalas, Zsolt Zolnai, György Sáfrán, Miklós Serényi, Emil Agocs, Tivadar Lohner, Attila Nemeth, Nguyen Quoc Khanh, Miklós Fried, and Peter Petrik: Micro-combinatorial sampling of the optical properties of hydrogenated amorphous Si1−xGex for the entire range of compositions towards a database for optoelectronics, SCIENTIFIC REPORTS 10 : 1 Paper: 19266 , 19 p. (2020), 2020
Nikolett, Hegedűs ; Riku, Lovics ; Miklós, Serényi ; Zsolt, Zolnai ; Péter, Petrik ; Judit, Mihály ; Zsolt, Fogarassy ; Csaba, Balázsi ; Katalin, Balázsi: Examination of the Hydrogen Incorporation into Radio Frequency-Sputtered Hydrogenated SiNx Thin Films, COATINGS 11 : 1 Paper: 54 , 13 p. (2021), 2021
Soleimani, S., Kalas, B., Horváth, Z., Zolnai, Z., Czigány, Z., Németh, A., Petrik, P., Volk, J.: Optimization of co-sputtered CrxAl1−xN thin films for piezoelectric MEMS devices, Journal of Materials Science: Materials in Electronics 31, 8136–8143 (2020), 2020
Tivadar Lohner, Attila Németh, Zsolt Zolnai, Benjamin Kalas, Alekszej Romanenko, Nguyen Khánh, Edit Szilágyi, Endre Kótai, Emil Agócs, Zsolt Tóth, Judit Budai, Peter Petrik, Miklos Fried, István Bársony, József Gyulai: In-Situ Control of Defect Dynamics By Ellipsometry During Ion Implantation – Evolution of Disorder and Cavity Structure in Single-Crystalline Ge During Implantation of Sb, SCIENTIFIC REPORTS 11 Paper: AiP (2021) DOI: 10.21203/rs.3.rs-132556/v1 This is a preprint, a preliminary version that has not completed peer review at a journal, 2021
D., Olasz. ; V., Kis ; P., Petrik ; B., Kalas ; G., Sáfrán: Microstructure of composition spread YTiO thin films, In: Miklós Fried (ed.) Proceedings of Symposium on Materials Science, Mátraháza, Magyarország : Óbudai Egyetem (2022) pp. 29-30., 2022
Kalas, Benjamin ; Sáfrán, György ; Serényi, Miklós ; Ferencz, Kárpát ; Fried, Miklós ; Petrik, Péter: Surface-enhanced Kretschmann-Raether ellipsometry based on plasmonic, Bragg and waveguide structures,, In: Miklós Fried (ed.) Proceedings of Symposium on Materials Science, Mátraháza, Magyarország : Óbudai Egyetem (2022) pp. 12-14., 2022
Benjamin Kalas, Thomas Defforge, Gaёl Gautier, Arnaud Chaix, Miklós Fried, and Péter Petrik: Development of advanced sensing materials and interface structures for in-situ bioellipsometry, Proc. SPIE 11972, Label-free Biomedical Imaging and Sensing (LBIS) 2022, 119720G (2 March 2022); IF.: 0.38, 2022
Erzsébet Dodony, Aleksander Rečnik, István Dódony, György Sáfrán: In situ TEM study of Ni-silicides formation up to 973K, Journal of Alloys and Compounds Volume 918, 15 October 2022, 165466, 2022
Nikolett Hegedüs, Riku Lovics, Miklós Serényi, Zsolt Zolnai, Péter Petrik, Csaba Balázsi, Katalin Balázsi: Interpretation of hydrogen incorporation into radio frequency sputtered amorphous silicon based on Berg modelling, Vacuum, Volume 202, August 2022, 111164, 2022
Nikolett Hegedüs , Csaba Balázsi , Tamás Kolonits , Dániel Olasz, György Sáfrán , Miklós Serényi , and Katalin Balázsi: Investigation of the RF sputtering process and the properties of deposited silicon oxynitride layers under varying reactive gas conditions, Materials 2022, 15(18), 6313, 2022
Petrik, Peter ; Fried, Miklos: Mapping and imaging of thin films on large surfaces, PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE, Volume 219, Issue 13, Article Number 2100800, 2022
Nguyen Q. Chinh, György Sáfrán: High strength of ultrafine-grained Al–Mg films and the relevance of the modified Hall–Petch-type relationship, MRS Communications MRSCOM-2019-0084.R1 Research Letter, 27 August 2019, pp. 1-4, 2019
M. Fried, R. Bogar, Z. Lábadi, Z. Zolnai: Combinatorial Investigation of WO3–MoO3 Mixed Layers by SE, ICSE-8, 8. Int. Conf. on Spectroscopic Ellipsometry, 2019.05.26-31 Barcelona, Spain, oral presentation; article submitted to Journal of Vacuum Science & Technology, 2019
T. Lohner, E. Szilágyi, Z. Zolnai, A. Németh, P. Petrik, Z. Fogarassy, L. Illés, E. Kótai, M. Fried: Determination of complex dielectric function of ion-implanted amorphous germanium by spectroscopic ellipsometry, ICSE-8, 8. Int. Conf. on Spectroscopic Ellipsometry, 2019.05.26-31 Barcelona, poster presentation; article submitted to Journal of Vacuum Science & Technology, 2019, 2019
G. Sáfrán, T. Lohner, M. Serényi, P. Petrik, B. Kalas, Zs. Zolnai, M. Németh, J. Gubicza , N.Q. Chinh , M. Fried, G. Dobrik. I. Cora, Zs. Fogarassy, L.J. Lábár, N. Szász: One-sample concept” micro-combinatory; a new approach for high throughput characterization of binary films, Oral presentation (invited), International Conference on Material Science and Nanotechnology(ICMSN 2019) , Paris, France, September 17-18, 2019, 2019
G. Sáfrán, T. Lohner, M. Serényi, P. Petrik, B. Kalas, Zs. Zolnai, M. Németh, J. Gubicza, N. Chinh: Single-sample combinatory for high throughput TEM, RBS, XRD, nanoindentation and ellipsometry studies of binary films, Oral presentation (invited), 26th Assembly of Advanced Materials Congress (AMC), Stockholm Sweden, 10-13 June 2019, 2019
G. Sáfrán, T. Lohner, M. Serényi, P. Petrik, B. Kalas, Z. Zolnai, M. Fried, *J. Gubicza, N.Q. Chinh: A micro-combinatorial approach for a reveal of composition dependent properties of binary films by TEM and further analytical techniques, Oral presentation (invited), 6th_International Congress on Microscopy and Spectroscopy Oludeniz, Turkey, May 12-18, 2019, 2019
György Sáfrán, Benjámin Kalas and Miklós Serényi: Determination of the optical properties of a-SixGe1-x facilitated by micro-combinatory, Poster and Proceedings, 15TH INTERNATIONAL CONFERENCE OF COMPUTATIONAL METHODS IN SCIENCES AND ENGINEERING, Rhodes, Greece May 1-5 2019, 2019
M. Fried: Expanded Beam Spectro-Ellipsometry for Big Area On-line Monitoring, nvited lecture, International Congress on Advanced Materials Sciences and Engineering (AMSE-2019), Osaka, Japán, 2019.07.22-2019.07.24, 2019
Lohner, T; Szilágyi, E; Zolnai, Zs; Németh, A; Fogarassy, Zs; Illés, L; Kótai, E; Petrik, P; Fried, M: Determination of the Complex Dielectric Function of Ion-Implanted Amorphous Germanium by Spectroscopic Ellipsometry, COATINGS 10 : 5 Paper: 480 , 10 p. (2020) https://doi.org/10.3390/coatings10050480, 2020
Lohner, Tivadar ; Németh, Attila ; Zolnai, Zsolt ; Kalas, Benjamin ; Romanenko, Alekszej ; Khánh, Nguyen Quoc ; Szilágyi, Edit ; Kótai, Endre ; Agócs, Emil ; Tóth, Zsolt , Judit Budai, Péter Petrik, Miklós Fried, István Bársony, József Gyulai: Disorder and cavity evolution in single-crystalline Ge during implantation of Sb ions monitored in-situ by spectroscopic ellipsometry, Materials Science in Semiconductor Processing Volume 152, December 2022, 107062, 2022
Fried, Miklos ; Bogar, Renato ; Takacs, Daniel ; Labadi, Zoltan ; Horvath, Zsolt Endre ; Zolnai, Zsolt: Investigation of Combinatorial WO3-MoO3 Mixed Layers by Spectroscopic Ellipsometry using Different Optical Models, Nanomaterials 2022, 12(14), 2421, 2022
Benjamin Kalas, Gyorgy Safran , Miklos Serenyi , Miklos Fried, Peter Petrik: Scanning-resonance optical sensing based on a laterally graded plasmonic layer – optical properties of AgxAl1−x in the range of x = 0 to 1, Applied Surface Science, Volume 606, 30 December 2022, 154770, 2022




 

Events of the project

  
2022-10-11 16:07:09
Résztvevők változása
2021-01-22 13:56:22
Résztvevők változása



Back »