![](img/space.gif) |
Development of novel methods in silicon micromachining
|
Help
Print
|
Here you can view and search the projects funded by NKFI since 2004
Back »![](img/space.gif)
![](img/space.gif)
![](img/space.gif)
![](img/space.gif)
|
![](img/print_ver.gif) |
List of publications |
|
|
Takács András: Pórusos Si szinterelésével előállított orvosi célú miniatűr nyomásmérő tervezése, Tudományos Diákköri Konferencia 2005, Budapesti Műszaki Egyetem, 2005 | Fürjes, P., Rajta, I., Battistig., G., Gál, G. and Dücső, Cs.: INTEGRATED MICRO-MEMBRANES BY HIGH ENERGY He+ or H+ IMPLANTATION AND ELECTROCHEMICAL ETCHING, Proceedings of Eurosensors XXII, accepted, 2008 | Mohácsy, T., Ádám, M., Dücső, Cs., Payer, M., Erős, M., and Bársony I.: CMOS Integrated Proces for Fabricating Monocrystalline Silicon Micromechanical Elements by Porous Silicon Micromachiing and Sensor Chip Comprising Such Element, Patent Pending: WO 2007/144677 A3, a P0600488 magyar bejelentés (2006. jún. 14) alapján., 2007 | Takács András: Eltemetett mikrofluidikai elemek előállítása pórusos Si kettősrétegekből, Egyetemi Diplomaunka, BME-VIK, 2006 | Vázsonyi, É., Ádám, M., Dücső, Cs., Vizváry, Z., Tóth, A.L., Bársony, I.: Three-dimensional force sensor by novel alkaline etching technique, Sensors and Actuators, A: Physical, 123-124, pp. 620-626., 2005 | Fürjes, P., Dücső, Cs., Vizváry, Z., Bársony, I.: Transient Heat Conduction Effects in Deformed Microstructures, Proceedings of Eurosensors XX, Vol. 2, pp164-165, ed. P. Enoksoon, 2006 | Vásá́rhelyi, G., Ádám, M., Vázsonyi, É., Vízváry, Z., Kis, A., Bársony, I., Dücső, C.: Characterization of an integrable single-crystalline 3-D tactile sensor, IEEE Sensors Journal, 6 (4), art. no. 1661573, pp. 928-934., 2006 | Vázsonyi, É., Dücső, Cs., Pekker, Á: Characterization of the anisotropic etching of silicon in two-component alkaline solution, Journal of Micromechanics and Microengineering, 17 (9), art. no. 021, pp. 1916-1922., 2007 | Csíkvárí, P., Fürjes, P., Dücső, Cs., Bársony, I.: Micro-hotplates for thermal characterisation of structural materials of MEMS, Microelectronics Journal, . Article in Press, 2008 | M. Ádám, T. Mohácsy, P. Jónás, Cs. Dücső, É. Vázsonyi, I. Bársony: CMOS Integrated Tactile Sensor Array By Porous Si Bulk Micromachining, Sensors and Actuators, A: Physical, 142 (1), pp. 192-195., 2008 | Ádám M, Vázsonyi. E., Bársony, I., Vásárhelyi, G., Dücső C.: Three dimensional single crystalline force sensor by porous Si micromachining, Proceedings of IEEE Sensors, 1, art. no. M4P-P.1, pp. 501-504., 2004 | Rajta, I., Szilasi, Sz., Fürjes, P., and Dücső, Cs.: Si Microturbine by Proton Beam Writing and porous Silicon micromachining, ICNMTA 2008 Book of Abstratcts, p.109. Paper submitted to NIM B for publication, 2008 | Cs. Dücső, I. Rajta, P. Fürjes and E. Baradács: Concept for processing of silicon check valves by proton beam micromachining, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 260 (1), pp. 409-413., 2007 |
![](img/space.gif)
|
|
|
![](img/shadow_right_up.gif)
|
![](img/shadow_left_bottom.gif)
|
![](img/shadow_right_bottom.gif)
|
![](img/space.gif) Back »
|
![](img/space.gif) |
|