A szubmikron méréstechnika egyes érzékelési feladatainak elméleti és kísérleti vizsgálata
Title in English
Theoretical and experimental investigation of certain sensory tasks in the submicron measuring technique
Panel
Informatics and Electrical Engineering
Department or equivalent
BrainWare Alkalmazott Számítás- és Méréstechnikai Kft.
Participants
Füzessy, Zoltán Sántha, Csongor Tálas, Mátyás
Starting date
2005-10-01
Closing date
2008-09-30
Funding (in million HUF)
9.408
FTE (full time equivalent)
2.32
state
closed project
Final report
Results in Hungarian
A kutatás során elkészült három különböző mechanikai felépítésű mérőfej konstrukció és mérő elemként kapacitív és optikai érzékelőket, valamint pásztázó alagút szenzorokat alkalmaztuk. Mindhárom konstrukció dinamikus viselkedését előzetesen véges elem szoftver felhasználásával elemeztük. A felhasznált optikai érzékelőt, amely alkalmas mind az elmozdulás, mind a szögváltozás mérésére hagyományos CD/DVD leolvasófejből alakítottuk ki. Elkészült továbbá egy 1-dimenzionális és egy 3-dimenzionális kalibráló berendezés, melyek mérési bizonytalansága jobb, mint 20 nm. Mikrokontrollerben megvalósítható eljárást dolgoztunk ki, a mérőerő okozta deformációból származó hibák korrigálására
Results in English
During the project three probe heads, with different mechanical constructions had been developed. The dynamic behaviour of all three constructions were analysed using finite element software. The optical sensors capable of measuring both linear and angular displacement where derived from conventional CD/DVD optical heads. Further a 1-dimensional and 3-dimensional calibration system was implemented. Their measuring uncertainty is better then 20 nm. Microcontroller based algorithm was developed for the compensation of the probe deflection, resulting from the measuring force.
Hermann Gy., Sántha Cs.: Design Considerations for a High Accuracy Measuring Probe, 4&2M Workshop and Conference, Budapest, 2006
Hermann Gy.: Computer Controlled Calibration System for Dial Gauges, Int. Symposion on Logistics and Industrial Informatics, Wildau, Germany, 2007
Hermann Gy.: Calibration System for Dial Gauges, Int. Symposium on Applied Computational Intelligence and Informatics, 2007
Hermann Gy., Benko Gy., Sántha Cs.: Design of a Tactile Measuring Probe for Coordinate Measurement, Magyar Kutatók Nemzetközi Szimpoziuma, Budapest, 2008
Hermann Gy., Nagy A.: Design of a Calibration System for Measuring Probes, 6th International Symposium on Intelligent Systems and Informatics, Subotica, Serbia, 2008
Hermann Gy., Sántha Cs.: Design of Tactile Measuring Probes, 6th International Symposium on Intelligent Systems and Informatics, Subotica, Serbia, 2008
Hermann Gy.: Design of a Calibration System for Measuring Probes, 12th International Conference on Intelligent Engineering Systems, Miami, Florida, USA, 2008
Hermann Gy., Nagy A., Sántha Cs.: Construction of Tactile Measuring Probes for Coordinate Measurement, 12th International Conference on Mechanical Engineering, Bratislava, Slovakia, 2008
Hermann Gy., Benko Gy., Sántha Cs.: Design of a Tactile Measuring Probe, Manufacturing 2008 Conference, Budapest, 2008
Hermann Gy., Benko Gy., Sántha Cs.: Design of a Tactile Measuring Probe, ICCC, Stara Lesna, Slovakia, 2008
