Lézeres eljárásokkal létrehozott felületi mikrostruktúrák, vékonyrétegek és nanoklaszter-rétegek nagy laterális- és mélységi feloldású jellemzése pásztázó nukleáris mikroszon-dával  részletek

súgó  nyomtatás 
vissza »
 

Projekt adatai

  
azonosító
34381
típus K
Vezető kutató Kántor Zoltán
magyar cím Lézeres eljárásokkal létrehozott felületi mikrostruktúrák, vékonyrétegek és nanoklaszter-rétegek nagy laterális- és mélységi feloldású jellemzése pásztázó nukleáris mikroszon-dával
zsűri Fizika 1
Kutatóhely MTK Szenzorfejlesztési Kutatócsoport (Pannon Egyetem)
résztvevők Elekes Zoltán
Geretovszky Zsolt
Heszler Péter
Simon Alíz
Szörényi Tamás
projekt kezdete 2001-01-01
projekt vége 2005-12-31
aktuális összeg (MFt) 10.580
FTE (kutatóév egyenérték) 0.00
állapot lezárult projekt





 

Zárójelentés

  
kutatási eredmények (magyarul)
Lézeres elgőzölögtetéssel, lézeres direktírással, elektrokémiai leválasztással, fizikai gőzfázisú leválasztással és egyéb technikákkal vékonyrétegeket és vékonyréteg-struktúrákat készítettünk és elvégeztük nagy feloldású analízisét Rutherford-visszaszórásos spektrometriával, valamint a szükséges kiegészítő jellemzését. Meghatároztuk vékonyrétegek rétegszerkezetét, geometriai szerkezetét (nanostruktúra), elemi összetételének helyfüggését. A spektrumok, tomográfiai képek és elemtérképek kiértékelésére az elterjedt kiértékelő szoftverek mellett saját szoftvereket is kifejlesztettünk: egy tetszőleges felületi topográfiát és nanoszerkezetet mutató, tetszőleges anyagú mintán végzett RBS mérés során előálló spektrumok kiszámítására alkalmas számítógépes szoftvert, valamint egy, kevéssé különböző hozamú területrészek elkülönítésére igen korlátozott beütésszámok esetén is alkalmas szofvert.
kutatási eredmények (angolul)
Thin films and thin film structures were prepared by pulsed laser deposition, laser direct writing, electroplating, physical vapor deposition and related techniques, and analyzed by means of high-resolution Rutherford backscattering spectrometry and other complementary methods. We determined the layer structure, the geometrical structure (nanostructure) and the lateral variation of elemental composition of the films. Among the wide-spread evaluation software commonly used for the evaluation of RBS spectra, tomographic images and elemental maps, we have developed and used new software: one for the simulation of the results of an RBS experiment performed on a sample with arbitrary microstructure and chemical composition distribution, and another one to distinguish between areas of low contrast in backscattering yield for very low count number in elemental maps.
a zárójelentés teljes szövege http://real.mtak.hu/28/
döntés eredménye
igen





 

Közleményjegyzék

  
Simon A;Kántor Z: Determination of elemental distribution of Si1-xGex thin films by micro-RBS technique, 15th International Conference on Ion Beam Analysis, IBA-15, Cairns, Australia, 15-20 July, 2001, Book of Abstracts, P1-59, 2001
Simon A;Kántor Z: Micro-RBS characterisation of the chemical composition and particulate deposition on Pulsed Laser Deposited Si1-xGex thin films, NUCL INSTRUM METH B 190: 351–356, 2002
Simon A;Kántor Z: Micro-RBS characterisation of the chemical composition and particulate deposition on Pulsed Laser Deposited Si1-xGex thin films, ATOMKI Annual Report, P. 40, 2001
Kántor Z;Simon A: Impulzuslézeres elgőzölögtetés (PLD) során fellépő cseppleválasztás modelljének pontosítása mikro-RBS analízis alapján, Előadás az Eötvös Lóránd Fizikai Társulat Vákuumfizikai Szakbizottságának ülésén, 2002. február 12., 2002
Kántor Z: Analysis of pulsed laser deposited thin films by means of a scanning nuclear microprobe, Előadás az Uppsalai Egyetem, Ångström Laboratórium szemináriumán, 2002. október 17., 2002
Frey K: Lézeres direktírás fém-karbonilok alkoholos oldataiból, XXV. OTDK Fizika, Földtudományok, Matematika Szekció, Pécs, 2001. április 17. - április 19., 2001
Simon A;Kántor Z: New challenges in Rutherford backscattering spectrometric (RBS) analysis of nanostructured thin films experimental methods, In Nanotechnology. Invited talk. Ed. by R. Vajtai, X. Aymerich and L. B. Kish. Proc. SPIE Vol. 5118: 179-188., 2003
Kántor Z;Simon A;Kovács M: Scanning nuclear microprobe analysis of pulsed laser deposited thin films and particulates: experiments and numerical modelling, Applied Surface Science 208-209C:540-546, 2003
Heszler P;Landström L: Laser induced nanoparticle formation, In Nanotechnology. Invited talk. Ed. by R. Vajtai, X. Aymerich and L. B. Kish. Proc. SPIE Vol. 5118:13., 2003
Kovács M;Kántor Z;Simon A;Frey K: Reconstruction of low-count step-like signals in ion microbeam analysis, Vacuum 71:53, 2003
Kokavecz J, Heszler P, Tóth Zs,Mechler Á: Effect of step function-like perturbation on intermittent contact mode sensors: a response analysis, Appl. Surf. Sci. 210:123—127, 2003
Kántor Z: Lézeres eljárásokkal készített vékonyrétegek és struktúrák nukleáris mikroanalitikai mérések számítógépes kiértékelése, Előadás a Veszprémi Akadémiai Bizottság Matematikai és Fizikai Szakbizottságának ülésén, 2003. október 7, 2003
Mechler Á;Kokavecz J;Heszler P;Lal R: Surface energy maps of nanostructures: Atomic force microscopy and numerical simulation study, Appl. Phys. Lett. 82:3740-3742, 2003
Landström L;Márton Zs;Arnold N;Högberg H;Boman M;Heszler P: In situ monitoring of size distributions and characterization of nanoparticles during W ablation in N2 atmosphere, J. Appl. Phys. 94:2011-2017, 2003
Landström L;Lu J;Heszler P: Size-Distribution and Emission Spectroscopy of W Nanoparticles Generated by Laser-Assisted CVD for Different WF6/H2/Ar Mixtures, J. Phys. Chem. B 107:11615-11621, 2003
Kántor Z: Sub-picosecond excimer laser machining of thick film circuit material, Thin Solid Films 453-454C:350-352, 2004
Márton Zs;Landström L;Heszler P: Early stage of the material removal during ArF laser ablation of graphite, Appl. Phys. A 79:579–585, 2004
Simon A;Kántor Z;Heszler P;Csik A;Ederth J;Hoel A;Kopniczky J;Granqvist CG: Characterisation of rough surfaces of gold nanoparticle films with RBS microbeam, 16th International Vacuum Congress. IVC-16, Venice:2004;Book of Abstracts, p. 39., 2004
Rickerby J;Simon A;Jeynes C;Steinke JHG: Polymeric precursors for inkjet printing copper, University of Surrey Ion Beam Centre\'s 13th Annual User Workshop. Guildford, England:2004, 2004
Simon A;Kalinka G: Investigation of charge collection in semiconductor pin photodiode structures, 9th International Conference on Nuclear Microprobe Technology and Applications. Cavtat, Dubrovnik:2004, Book of Abstracts, p. 171., 2004
Kertész Zs;Szikszai Z;Uzonyi I;Simon A;Szabó Gy;Sziki GÁ;Rajta I;Kiss ÁZ: The Debrecen micro beam analysis facility: Report of recent development and applications with special emphasize on bio-PIXE, Proceedings of the 10th International Conference on Particle Induced X-ray Emission and its Analytical Applications, Portorož:2004, pp: 904.1-4, 2004
Simon A;Balkay L;Chalupa I;Kalinka G;Kerek A;Molnár J;Novák D;Sipos A;Végh J: A high spatial resolution measurement of depth of interaction of a PET LSO crystal, 6th International Workshop on Radiation Imaging Detectors. Glasgow:2004; book of abstracts p. 51, 2004
Simon A;Kántor Z;Heszler P;Csik A;Ederth J;Hoel A;Kopniczky J;Granqvist CG: Characterisation of rough surfaces of gold nanoparticle films with RBS microbeam, Atomki Annual Report p. 15., 2004
Simon A, Kalinka G: Investigation of charge collection in semiconductor pin photodiode structures, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 231 (2005)507., 2005
Simon A, Balkay L, Kalinka G, Kerek A, Novák D, Sipos A, Végh J, Trón L, Molnár J: High spatial resolution measurement of depth of interaction of a PET LSO crystal, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 546 (2005)33., 2005
Gomez-Morilla I, Simon A, Simon R, Williams C T, Kiss Á Z, Grime G W: An evaluation of reference materials for PIXE and other X-ray microanalysis techniques, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, közlésre elfogadva, 2006
Simon A, Csákó T, Jeynes C, Szörényi T: High lateral resolution 2D mapping of B/C ratio in boron carbide films, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, közlésre elfogadva, 2006
Rickerby J, Simon A, Jeynes C, Morgan T J, Steinke J G H: 1,1,1,5,5,5-Hexafluoroacetylacetonate copper(I) poly(vinylsiloxane)s as precursors for copper direct-write, Chemistry of Materials, közlésre elfogadva, 2006
Simon A: Újtípusú detektor anyagok vizsgálata Ionnyaláb által indukált töltésmikroszkópiával, MTA-MFA intézeti szeminárium, előadás, 2005. február 16., 2005
Simon A: Elemanalitika és felületi topográfia fókuszált ionnyalábbal, MTA ATOMKI intézeti habilitációs előadás, 2005. december 13,, 2005
Kántor Z: 2. Nanoszemcsés vékonyréteg-szerkezetek elemzése kísérleti RBS spektrumok modellezésével, előadás a Felületkémiai és Nanoszerkezeti Munkabizottság ülésén, 2005. március 8., 2005



vissza »