Control of ion properties in low-pressure radiofrequency gas discharges relevant for surface processing  Page description

Help  Print 
Back »

 

Details of project

 
Identifier
128924
Type FK
Principal investigator Derzsi, Aranka
Title in Hungarian Az ionok jellemzőinek szabályozása felületkezelési eljárásokban alkalmazott alacsony nyomású rádiófrekvenciás gerjesztésű gázkisülésekben
Title in English Control of ion properties in low-pressure radiofrequency gas discharges relevant for surface processing
Keywords in Hungarian alacsony hőmérsékletű plazmák, kapacitív RF gázkisülések, felületi folyamatok
Keywords in English low-temperature plasmas, capacitive RF discharges, surface processes
Discipline
Physics (Council of Physical Sciences)100 %
Ortelius classification: Physics
Panel Physics
Department or equivalent Complex Fluids Department (Wigner Research Centre for Physics of the Hungarian Academy of Sciences)
Starting date 2018-10-01
Closing date 2022-09-30
Funding (in million HUF) 17.830
FTE (full time equivalent) 2.60
state running project




Back »