Az ionok jellemzőinek szabályozása felületkezelési eljárásokban alkalmazott alacsony nyomású rádiófrekvenciás gerjesztésű gázkisülésekben  részletek

súgó  nyomtatás 
vissza »

 

Projekt adatai

 
azonosító
128924
típus FK
Vezető kutató Derzsi Aranka
magyar cím Az ionok jellemzőinek szabályozása felületkezelési eljárásokban alkalmazott alacsony nyomású rádiófrekvenciás gerjesztésű gázkisülésekben
Angol cím Control of ion properties in low-pressure radiofrequency gas discharges relevant for surface processing
magyar kulcsszavak alacsony hőmérsékletű plazmák, kapacitív RF gázkisülések, felületi folyamatok
angol kulcsszavak low-temperature plasmas, capacitive RF discharges, surface processes
megadott besorolás
Fizika (Élettelen Természettudományok Kollégiuma)100 %
Ortelius tudományág: Fizika
zsűri Fizika
Kutatóhely SZFI - Komplex Folyadékok Osztály (MTA Wigner Fizikai Kutatóközpont)
projekt kezdete 2018-10-01
projekt vége 2022-09-30
aktuális összeg (MFt) 17.830
FTE (kutatóév egyenérték) 2.60
állapot aktív projekt




vissza »